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13051256352
G300质量流量计特点
高精度、高分辨率控制
低功率,功率<0.5W
集成 20 种基础气体种类
可自定义 10 种混合气体
数字化控制,RS-485 Modbus RTU 通信模式
宽流量量程范围
无需预热
无安装方向限制
具有高重复性和高可靠性
自带温度补偿,补偿范围 0-50℃
具有高稳定性
小封装尺寸量程及精度简介
可用量程:
最大 0-50slpm
最小 0-1sccm
常备量程请参考选型表
量程比:1000:1
满量程精度:±0.2%
读取精度:±0.8%
可重复性:±0.2%FS
数字式设计简介
G300 系列质量流量计标配高精度传感器和数字电路,数字电路可完成测量及控制所需的所有基本功能。G300 系列采用标准的 RS-485Modbus RTU 通信模式。RS-485 总线最高可扩展至 255 台设备同时使用。
应用领域
气相和液相色谱仪
半导体工艺
环境监测设备
微反应装置及材料制备实验装置(CVD)
气体发生器
配气混气系统